Edwards真空计在工业真空工艺中的精度应用指南

Edwards真空计如APG系列，测量范围10^-3至760 Torr，支持Pirani与电离技术。适用于半导体与涂层工艺。

工业应用中，集成PLC接口，实现实时监测。定期校准确保精度，降低真空系统故障率。