分子泵故障诊断与专业维修技术要点解析
真空技术
2025-12-12
查询: 分子泵维修
关键词：
分子泵维修
摘要：阐述分子泵常见问题维修步骤及预防策略，确保真空系统稳定。
分子泵转子轴承磨损为常见故障，诊断用振动分析仪监测<0.5mm/s。拆卸清洁磁悬浮组件，重新润滑高真空油。
维修后真空度测试需达10^-6 Pa。定期校准转速控制器，延长寿命至5万小时，适用于半导体真空工艺。
相关行业报告
发布时间：2025-12-12
参与行业讨论
与行业专家和同行交流，分享您的见解和经验